落下粒子パーティクルモニタ「APMON」は、製品の製造局所に設置することで、品質に影響を与える粗大粒子を常時モニタリングできる。15μm以上の落下粒子を5分間隔で計測し、発塵警報やクリーニング後の効果計測にも利用できる。
＜仕様＞●測定方式:レーザーホログラフィック検出式●測定範囲:15~1000μm●測定間隔:5分●本体CPU:i5 processor
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